|
|
Růst epitaxních kobaltových (CoSi2) ostrůvků pomocí epitaxe řízené oxidovou vrstvou
Stará, Veronika ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá studiem přípravy a růstu kobaltových tenkých vrstev. Jako substrát byla použita křemíková deska s orientací (111) pokrytá tenkou vrstvou nativního oxidu SiO2. Pro růst kobaltové vrstvy byla využita metoda epitaxe řízené oxidovou vrstvou. Jako zdroj kobaltových atomů byla využita efuzní cela. Byla zkoumána závislost složení a morfologie substrátu na teplotě žíhání. Dalším bodem výzkumu bylo určení závislosti výsledného vzhledu ostrůvků na množství deponovaného materiálu a orientaci substrátu. Připravené struktury byly zkoumány využitím rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS), mikroskopie atomárních sil (AFM), rastrovací elektronové mikroskopie (SEM). Abychom změřili tloušťku podpovrchových ostrůvků, byly připravené vzorky leptané v bufrované kyselině fluorovodíkové a následně analyzované pomocí zmíněných metod.
|
|
|
Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop
Caesar, Radek ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Hlavním cílem této bakalářské práce je návrh konstrukce manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop (UHV SEM), který je v současné době vyvíjen firmou TESCAN ve spolupráci s Ústavem fyzikálního inženýrství FSI VUT. Tento manipulátor má umožnit manipulaci se vzorky v tzv. přípravné komoře, do níž se vzorky vpravují před jejich umístěním do analytické komory. V přípravné komoře probíhají povrchové a jiné úpravy vzorku. V teoretické části jsou popsány některé technologie, užívané v oblasti vakuové techniky, především různé principy měření tlaku a čerpání vzduchu. Dále je práce zaměřena na stručný popis vyvíjeného UHV SEM a metod přípravy vzorků. Praktická část se zabývá samotným návrhem a popisem konstrukce manipulátoru.
|
|
|
Návrh nosné platformy pro nízkoteplotní UHV STM mikroskop
Dao, Tomáš ; Křupka, Ivan (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá konstrukcí antivibrační platformy pro nízkoteplotní rastrovací tunelový mikroskop STM pracující v podmínkách ultravysokého vakua (UHV). Chlazení mikroskopu je zajišťováno průtokovým heliovým kryostatem vyvinutým na Ústavu přístrojové techniky AV ČR. Kromě obecných požadavků na konstrukci zařízení pro použití v ultravysokém vakuu jsou diskutovány různé způsoby izolace a tlumení vibrací v ultravakuu. Dále jsou diskutovány možnosti omezení přenosu vibrací mezi vakuovými zařízeními a vnějším okolím. Poznatky jsou následně aplikovány na návrh antivibrační mikroskopové platformy při zachování požadavků na dosažení nízkých teplot. Pro ověření návrhu je testován funkční model platformy a analyzovány systémy pro izolaci vibrací a jejich tlumení.
|
|
|
Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop
Caesar, Radek ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Hlavním cílem této bakalářské práce je návrh konstrukce manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop (UHV SEM), který je v současné době vyvíjen firmou TESCAN ve spolupráci s Ústavem fyzikálního inženýrství FSI VUT. Tento manipulátor má umožnit manipulaci se vzorky v tzv. přípravné komoře, do níž se vzorky vpravují před jejich umístěním do analytické komory. V přípravné komoře probíhají povrchové a jiné úpravy vzorku. V teoretické části jsou popsány některé technologie, užívané v oblasti vakuové techniky, především různé principy měření tlaku a čerpání vzduchu. Dále je práce zaměřena na stručný popis vyvíjeného UHV SEM a metod přípravy vzorků. Praktická část se zabývá samotným návrhem a popisem konstrukce manipulátoru.
|
|
|
Růst epitaxních kobaltových (CoSi2) ostrůvků pomocí epitaxe řízené oxidovou vrstvou
Stará, Veronika ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá studiem přípravy a růstu kobaltových tenkých vrstev. Jako substrát byla použita křemíková deska s orientací (111) pokrytá tenkou vrstvou nativního oxidu SiO2. Pro růst kobaltové vrstvy byla využita metoda epitaxe řízené oxidovou vrstvou. Jako zdroj kobaltových atomů byla využita efuzní cela. Byla zkoumána závislost složení a morfologie substrátu na teplotě žíhání. Dalším bodem výzkumu bylo určení závislosti výsledného vzhledu ostrůvků na množství deponovaného materiálu a orientaci substrátu. Připravené struktury byly zkoumány využitím rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS), mikroskopie atomárních sil (AFM), rastrovací elektronové mikroskopie (SEM). Abychom změřili tloušťku podpovrchových ostrůvků, byly připravené vzorky leptané v bufrované kyselině fluorovodíkové a následně analyzované pomocí zmíněných metod.
|
|
|
Návrh nosné platformy pro nízkoteplotní UHV STM mikroskop
Dao, Tomáš ; Křupka, Ivan (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá konstrukcí antivibrační platformy pro nízkoteplotní rastrovací tunelový mikroskop STM pracující v podmínkách ultravysokého vakua (UHV). Chlazení mikroskopu je zajišťováno průtokovým heliovým kryostatem vyvinutým na Ústavu přístrojové techniky AV ČR. Kromě obecných požadavků na konstrukci zařízení pro použití v ultravysokém vakuu jsou diskutovány různé způsoby izolace a tlumení vibrací v ultravakuu. Dále jsou diskutovány možnosti omezení přenosu vibrací mezi vakuovými zařízeními a vnějším okolím. Poznatky jsou následně aplikovány na návrh antivibrační mikroskopové platformy při zachování požadavků na dosažení nízkých teplot. Pro ověření návrhu je testován funkční model platformy a analyzovány systémy pro izolaci vibrací a jejich tlumení.
|
host ::
RSS.